沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

簡要描述：沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測量高溫氣體的質量流量，可以以質量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。

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一、產品概述： 沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊

u 內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感

u 采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動

u 提供用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。

二、產品應用：

-- 已廣泛應用于沉積工藝領域，如陶瓷工藝、半導體、光纖等行業使用高溫氣體的沉積設備。

-- 多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質量流量控制器及流量計便可取代多臺設備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復性0.5%及不到200毫秒的控制響應時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。

三、技術參數：沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

技術指標	質量流量控制器		質量流量計
	量程范圍	2SCCM~300SLM
	精度 (調零后標準條件下)	±0.5%F·S（滿量程）
	重復精度	±0.5%F·S
	流量控制比 /測量范圍	2%~100%F·S/50：1	1%~100%F·S/100：1
	工作溫度	過流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃
	漏率	＜2×10-9 Pa m3/S
機械部件	最大工作壓力	3 MPa / 10MPa
	密封材質	氟橡膠、全氟醚、金屬密封
	防護等級	IP40
	底座材質	不銹鋼
	氣路接頭	φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等
電氣性能	單色LCD顯示屏	同時顯示實時流量、設定流量
	數字通訊	可選：RS232/485，Modbus協議、Profibus協議、DeviceNet協議
	模擬輸入輸出信號	0~5VDC/4~20mA
	電信號接口	B9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
	供電電壓	±15VDC，24VDC

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