無熱漂移，可以忽略的溫漂和時漂

量程范圍：0~(20g/h-1000kg/h)

精度氣體測量可達±0.5% F.S，液體可達±0.25% F.S

響應速度快、調節速度快

熱式原理，響應快，精度高

準確精度：±0.5%F.S

管狀分流，不易堵塞

模擬量輸入/輸出;同時帶有485/232Modbus數字通訊，可選擇DeviceNET，EtherCAT，Profibus-DP等協議。

可選配全氟橡膠密封，部分量程可選配金屬密封。

量程范圍：0~(2SCCM~500SLM)

準確精度：±0.5%F.S

可快速精確測量高溫介質(液體、氣體或蒸汽)的體積流量/質量流量

測量溫度：-20℃~350℃左右

精度≤±(0.2~0.5)% F.S

該系列儀表精確度高、重復性好，單閥系列分為前壓控制和背壓控制(上、下游壓力控制)

雙閥壓力控制器可穩定調節密閉容器壓力

可選配置：

液體流量控制器(控制液態源流量)；

一臺或多臺氣體流量控制器(控制載氣流量);

溫度可調的混合蒸發器(用于液體汽化);

流量、溫度顯示控制儀(設定流量或溫度);

蒸發器出口可接入氣體質量流量控制器，對產出的蒸汽進行稀釋。

CEM 系統可獨立實現液體流量、氣體流量、蒸發溫度的控制。也可通過 MODBUS 或 DEVICENET 等協議集中控制。

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